Hazırlanması ve işlenmesizirkonyum hedefleriMagnetron püskürmeden önce hammaddelerin hazırlanması, hedef boşlukların hazırlanması, hedef malzemelere işleme ve tedavi dahil olmak üzere birçok adım içerir. Belirli süreç aşağıdaki gibidir:
Hammadde Hazırlama: Hammadde olarak saf zirkonyum tozu veya zirkonyum alaşım tozu kullanın ve saflığın genellikle%99,9'dan daha büyük veya daha büyük olması gerekir. Alaşım tozu kullanılırsa, farklı oranlarda zirkonyum tozu ve alaşım tozu, tasarlanan orana göre eşit olarak karıştırılmalıdır.
Presleme: Karışık toz, bir presleme makinesi tarafından bir boşluğa bastırılır. Yaygın olarak kullanılan şekillendirme yöntemleri arasında soğuk izostatik presleme (CIP) ve sıcak izostatik pres (kalça) bulunur. Soğuk izostatik presleme, düşük sıcaklıkta presleme için uygundur ve tozun doğrudan preslenmesi için uygundur; Sıcak izostatik presleme, tozdaki gözenekleri ve safsızlıkları daha da ortadan kaldırabilen ve yoğunluğu iyileştirebilen yüksek sıcaklık presleme için uygundur.
Sinterleme: Preslenmiş boşluk, genellikle sıcak izostatik pres (kalça) ile yüksek sıcaklıkta sinterlenir. Sinterleme sıcaklığı ve süresinin, genellikle 1500 derecenin üzerinde olan spesifik malzeme ve süreç gereksinimlerine göre ayarlanması gerekir. Sinterleme işlemi sırasında, oksidasyon ve kontaminasyonu önlemek için atmosferi kontrol etmek gerekir.
Sonlandırma: Sinirlenmiş boşluk, dönme, öğütme ve öğütme gibi mekanik işleme yöntemleriyle disk gibi istenen hedef şekle işlenir. Hedefin boyutsal doğruluğunu ve yüzey kalitesini sağlamak için yüksek hassasiyetli işleme ekipmanı kullanın.
Yüzey işlemi: İşlenmiş hedef, yüzey kaplamasını ve homojenliği iyileştirmek için parlatma veya kimyasal parlatma gibi yüzey işlemine tabi tutulur. Ultrasonik temizlik ve kimyasal temizlik, yüzeydeki safsızlıkları ve oksitleri çıkarmak için kullanılır.
Kalite İncelemesi: Hazırlanan zirkonyum hedefi, boyutsal doğruluk, yüzey pürüzlülüğü, kimyasal bileşim, yoğunluk vb. Dahil olmak üzere kalite incelemesine tabidir. X-ışını kırınımı (XRD), tarama elektron mikroskobu (SEM) ve diğer ekipmanları inceleme için kullanın.
Zirkonyum Hedef Ürün Detayları Resim Ekranı
