Zhenan Tungsten Hedef Ürün PDF belgesi, indirmek için tıklayın
Tungsten hedefleri püskürtme sürecinde nasıl çalışır?
Püskürtme, iyonize gaz atomlarının bir tungsten hedefine doğru hızlandırıldığı fiziksel buhar birikimi (PVD) tekniğidir. Bu enerjik iyonlar tungsten hedefinin yüzeyine çarptığında, tungsten atomları hedef materyalden atılır. Bu çıkarılan tungsten atomları daha sonra gaz dolu bir odadan geçer ve ince bir film oluşturmak için bir substrat üzerine bırakılır. Tungsten hedefinin yüksek erime noktası ve iyi termal stabilitesi, püskürtme işlemi sırasında enerjik iyonların bombardımanına dayanmasını sağlar. Tungsten'in düşük buhar basıncı, püskürtme hızının zamanla sabit kalmasını sağlar, bu da tutarlı ve muntazam film birikimi ile sonuçlanır.
Zhenan yüksek kaliteli tungsten hedefi
Saf Tungsten Metal Püskürtme Hedef Ürün Parametresi Tablo
|
Başvuru |
Yarı iletkenler, mikro elektronik vb. |
|
Atom hacmi |
9.53 cm3/mol |
|
Kristal yapı ve kafes sabiti |
- W: BCC A=3. 16524 nm (25 derece) |
|
-W |
Kübik kafes A=5. 046 nm (630 derecenin altına kararlı) |
|
Gizli erime ısısı |
40.13 ± 6.67kj/mol |
|
Süblimasyon ısısı |
847.8 kJ/mol (25 derece) |
|
Buharlaşma ısısı |
823.85 ± 20.9kj/mol (kaynama noktası) |
|
Sıcaklık direnç katsayısı |
0. 00482 i/ derece |
|
Elastik modül |
35000 ~ 38000 MPa (tel) |
|
Burulma modülü |
~ 36000mpa |
|
Sıkıştırılabilirlik |
2. 910-7 cm/kg |
If you have other product needs, please contact us, please leave a message to: sales@zanewmetal.com, we will reply to you as soon as possible~